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詳情介紹
特性
ULVAC機工的GLD系列，具有低振動，低噪音及以下優良性能：
1.氣鎮閥能防止蒸汽（例如水蒸汽）凝縮在泵油內。
2.強制給油機構能保證從大氣到高真空的整個排氣過程中，保持油潤滑和內部密封。
3.逆流防止裝置在斷電時能保護真空箱。低溫確保了真空泵創造良好的真空度。強制的油過濾器可濾出泵油的雜質，通過大型刻度易讀的油量計，可以隨時檢查泵油的狀況。
使用指導
為了zui大限度的發揮真空泵的*性能，應注意以下幾點：
1.GLD系列可適用于廣泛領域，能獲得極低的真空（10-2Pa），配置KF法蘭可獲得高真空。為發揮zui大性能請使用高真空法蘭。
2.GLD系列并不適用于有毒或腐蝕性氣體。（請選擇GCD系列:p.10）
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續運轉。
應用
1.科學與化學試驗，分析裝置，鐳射相關裝置。
2.電子顯微鏡的前級泵系統。
3.半導體生產系統，濺射系統，真空涂層系統。
4.真空干燥系統，冷凍干燥系統。
| 型 號 | 實際排氣速度（L/min.） | 極限壓力 （Pa） | 吸氣管徑 （mm） | 重量 （kg） | 外形尺寸 W×L×H（mm） | 電機 | |
| 功率（W） | 可選電壓（V） | ||||||
| ※ GLD-051 | 50/66 （50/60Hz） | 6.7×10-2（氣鎮閥關閉） 6.7（氣鎮閥打開） | KF-25 | 13.9 | 165.5×399×222.7 | 200 | 單相100.115.200.220.230 |
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